Chair of Semiconductors
Organisational unit: Chair
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Active until. 31 Mar 2020.
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Keywords
Research Focus
- Kupfermetallisierung/Diffusionsbarrieren/Isolatoren mit niedriger und hoher Dielektrizitätskonstante
- Si-basierte Dünnschichtsolarzellen
- Magnetronsputtern/ /Mikrogalvanik/RIE-Si-Tiefenätzen/Passivierungen
- Nanobeschichtung von Bonddrähten
- Atomic Layer Deposition (ALD)
- Chemisch Mechanisches Planarisieren
- 3D Intergration und Through Silicon Via (TSV)
- Back-End Processing/Bumping
- Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten