Professur für Halbleitertechnik
Organisation: Professur
Organisationsprofil
Ehemalige:r Inhaber:in der Professur: Prof. Dr. rer. nat. Johann Bartha
Ehemalige Einrichtung
Aktiv bis. 31 März 2020.
Kontakt
Übergeordnete Einrichtungen
Schlagworte
Forschungsschwerpunkte
- Kupfermetallisierung/Diffusionsbarrieren/Isolatoren mit niedriger und hoher Dielektrizitätskonstante
- Si-basierte Dünnschichtsolarzellen
- Magnetronsputtern/ /Mikrogalvanik/RIE-Si-Tiefenätzen/Passivierungen
- Nanobeschichtung von Bonddrähten
- Atomic Layer Deposition (ALD)
- Chemisch Mechanisches Planarisieren
- 3D Intergration und Through Silicon Via (TSV)
- Back-End Processing/Bumping
- Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten