Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
ISSNs: 2166-2746, 1071-1023, 0022-5355
Weitere durchsuchbare ISSN (elektronisch): 1520-8567, 2166-2754, 2327-9877
AIP Publishing , USA/Vereinigte Staaten
Scopus-Bewertung (2023): CiteScore 2,7 SJR 0,328 SNIP 0,702
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| Titel |
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| Weitere durchsuchbare Titel | J. Vac. Sci. Technol. B, JVTBD9, J. Vac. Sci. Technol., J of Vacuum Sci. Technol., Microelectronics and nanometer structures, JVST B, Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena, Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics, Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics, Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Journal of Vacuum Science and Technology B |
| ISSNs | 2166-2746, 1071-1023, 0022-5355 |
| Weitere durchsuchbare ISSN (elektronisch) | 1520-8567, 2166-2754, 2327-9877 |
| Verlag | AIP Publishing |
| Land/Gebiet | USA/Vereinigte Staaten |
| Scopus ID | 28597 |
| ZDB-ID | 1475429-0 |
| Linking ISSN | 0734-211X |
| ZDB-ID | 2212422-6 |
| ZDB-ID | 3117333-0 |