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Forschungsportal der TU Dresden

Multi-scale radiographic applications in microelectronic industry

Publikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/Gutachten › Beitrag in Konferenzband › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

J Gluch - , Professur für Materialwissenschaft und Nanotechnik (Autor:in)
M Löffler - , Dresden Center for Nanoanalysis (DCN) (Autor:in)
N Meyendorf - (Autor:in)
M Oppermann - , Zentrum für mikrotechnische Produktion (Autor:in)
M Röllig - , Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik, Professur für Hochparallele VLSI-Systeme und Neuromikroelektronik (Autor:in)
P Sättler - , Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (Autor:in)
KJ Wolter - , Professur für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (Autor:in)
Ehrenfried Zschech - (Autor:in)

Details

Originalsprache	Englisch
Titel	AIP Conference Proceedings
Seiten	020026
Seitenumfang	1
Band	1706
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2016
Peer-Review-Status	Ja

Externe IDs

Scopus	84984548103

Schlagworte