Integration challenges of ferroelectric hafnium oxide based embedded memory

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Beitragende

J. Müller - (Autor:in)
P. Polakowski - , Professur für Optoelektronische Bauelemente und Systeme (gB/FG) (Autor:in)
J. Paul - (Autor:in)
S. Riedel - (Autor:in)
R. Hoffmann - (Autor:in)
M. Drescher - , Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Seniorprofessor Halbleitertechnik (Autor:in)
S. Slesazeck - (Autor:in)
S. Müller - (Autor:in)
H. Mulaosmanovic - (Autor:in)
U. Schroeder - (Autor:in)
T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik (Autor:in)
S. Flachowsky - (Autor:in)
E. Erben - (Autor:in)
E. Smith - (Autor:in)
R. Binder - (Autor:in)
D. Triyoso - (Autor:in)
J. Metzger - (Autor:in)
S. Kolodinski - (Autor:in)

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