Ferroelectricity in HfO 2 enables nonvolatile data storage in 28 nm HKMG

Publikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/Gutachten › Beitrag in Konferenzband › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

J. Müller - (Autor:in)
Ekaterina Yurchuk - (Autor:in)
T. Schlösser - (Autor:in)
J. Paul - (Autor:in)
R. Hoffmann - (Autor:in)
S. Müller - (Autor:in)
D. Martin - (Autor:in)
Stefan Slesazeck - (Autor:in)
P. Polakowski - , Professur für Optoelektronische Bauelemente und Systeme (gB/FG) (Autor:in)
J. Sundqvist - , Professur für Halbleitertechnik (Autor:in)
M. Czernohorsky - (Autor:in)
K. Seidel - (Autor:in)
P. Kücher - (Autor:in)
R. Boschke - (Autor:in)
M. Trentzsch - (Autor:in)
K. Gebauer - (Autor:in)
U. Schröder - (Autor:in)
T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik (Autor:in)

Scopus	84866536057