Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials

Research output: Intellectual PropertyPatent application/Patent

Contributors

  • Fraunhofer-Gesellschaft

Abstract

Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Behälter mit einer Dampfaustrittsöffnung, wobei die Dampfaustrittsöffnung ausgelegt ist, einen Dampf in einer Dampf-Richtung auf das Substrat zu richten, und eine Verdampfungs-Quelle, die innerhalb des Behälters angeordnet ist und ausgelegt ist, ein in einem Behälter angebrachtes Beschichtungsmaterial in einer Quellen-Richtung zu verdampfen, wobei der Behälter einen unteren und einen oberen Bereich hat, wobei in dem unteren Bereich die Verdampfungs-Quelle angeordnet ist und die Dampfaustrittsöffnung nicht angeordnet ist, wobei in dem oberen Bereich die Dampfaustrittsöffnung angeordnet ist und die Verdampfungs-Quelle nicht angeordnet ist, wobei der Behälter eine Seitenwand und einen oberen und einen unteren Deckel hat, wobei sich die Seitenwand von dem oberen zu dem unteren Deckel durchgehend erstreckt und wobei in dem oberen Bereich der Seitenwand die Dampfaustrittsöffnung ausgebildet ist, so dass der Dampf in der Dampf-Richtung abgestrahlt wird, die sich von der Quellen-Richtung unterscheidet.

Details

Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Behälter mit einer Dampfaustrittsöffnung, wobei die Dampfaustrittsöffnung ausgelegt ist, einen Dampf in einer Dampf-Richtung auf das Substrat zu richten, und eine Verdampfungs-Quelle, die innerhalb des Behälters angeordnet ist und ausgelegt ist, ein in einem Behälter angebrachtes Beschichtungsmaterial in einer Quellen-Richtung zu verdampfen, wobei der Behälter einen unteren und einen oberen Bereich hat, wobei in dem unteren Bereich die Verdampfungs-Quelle angeordnet ist und die Dampfaustrittsöffnung nicht angeordnet ist, wobei in dem oberen Bereich die Dampfaustrittsöffnung angeordnet ist und die Verdampfungs-Quelle nicht angeordnet ist, wobei der Behälter eine Seitenwand und einen oberen und einen unteren Deckel hat, wobei sich die Seitenwand von dem oberen zu dem unteren Deckel durchgehend erstreckt und wobei in dem oberen Bereich der Seitenwand die Dampfaustrittsöffnung ausgebildet ist, so dass der Dampf in der Dampf-Richtung abgestrahlt wird, die sich von der Quellen-Richtung unterscheidet.

Original languageGerman
IPC (International Patent Classification)C23C 14/ 54 A I
Patent numberDE102005010930
Country/TerritoryGermany
Priority date9 Mar 2005
Priority numberDE20051010930
Publication statusPublished - 11 May 2006
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Patent