Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials
Publikation: Geistiges Eigentum › Patentanmeldung/Patent
Beitragende
- Fraunhofer-Gesellschaft
Abstract
Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Behälter mit einer Dampfaustrittsöffnung, wobei die Dampfaustrittsöffnung ausgelegt ist, einen Dampf in einer Dampf-Richtung auf das Substrat zu richten, und eine Verdampfungs-Quelle, die innerhalb des Behälters angeordnet ist und ausgelegt ist, ein in einem Behälter angebrachtes Beschichtungsmaterial in einer Quellen-Richtung zu verdampfen, wobei der Behälter einen unteren und einen oberen Bereich hat, wobei in dem unteren Bereich die Verdampfungs-Quelle angeordnet ist und die Dampfaustrittsöffnung nicht angeordnet ist, wobei in dem oberen Bereich die Dampfaustrittsöffnung angeordnet ist und die Verdampfungs-Quelle nicht angeordnet ist, wobei der Behälter eine Seitenwand und einen oberen und einen unteren Deckel hat, wobei sich die Seitenwand von dem oberen zu dem unteren Deckel durchgehend erstreckt und wobei in dem oberen Bereich der Seitenwand die Dampfaustrittsöffnung ausgebildet ist, so dass der Dampf in der Dampf-Richtung abgestrahlt wird, die sich von der Quellen-Richtung unterscheidet.
Details
Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Behälter mit einer Dampfaustrittsöffnung, wobei die Dampfaustrittsöffnung ausgelegt ist, einen Dampf in einer Dampf-Richtung auf das Substrat zu richten, und eine Verdampfungs-Quelle, die innerhalb des Behälters angeordnet ist und ausgelegt ist, ein in einem Behälter angebrachtes Beschichtungsmaterial in einer Quellen-Richtung zu verdampfen, wobei der Behälter einen unteren und einen oberen Bereich hat, wobei in dem unteren Bereich die Verdampfungs-Quelle angeordnet ist und die Dampfaustrittsöffnung nicht angeordnet ist, wobei in dem oberen Bereich die Dampfaustrittsöffnung angeordnet ist und die Verdampfungs-Quelle nicht angeordnet ist, wobei der Behälter eine Seitenwand und einen oberen und einen unteren Deckel hat, wobei sich die Seitenwand von dem oberen zu dem unteren Deckel durchgehend erstreckt und wobei in dem oberen Bereich der Seitenwand die Dampfaustrittsöffnung ausgebildet ist, so dass der Dampf in der Dampf-Richtung abgestrahlt wird, die sich von der Quellen-Richtung unterscheidet.
Originalsprache | Deutsch |
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IPC (Internationale Patentklassifikation) | C23C 14/ 54 A I |
Veröffentlichungsnummer | DE102005010930 |
Land/Gebiet | Deutschland |
Prioritätsdatum | 9 März 2005 |
Prioritätsnummer | DE20051010930 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 11 Mai 2006 |