Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung von Messungen an rotierenden Objekten

Research output: Intellectual propertyPatent application/Patent

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung von Messungen an rotierenden Objekten, welche ein Objekthalterungselement zur Aufnahme und Rotation eines zu vermessenden Objektes, einen als Dove-Prisma ausgebildeten Derotator und eine Bilderfassungseinheit aufweist, welche entlang eines Strahlenganges angeordnet sind. Dabei ist eine Korrekturoptikeinheit zur Brechung des durch sie hindurchgehenden Lichtes an ihren Oberflächen mit einer objektseitigen Brennebene in Richtung des Objekthalterungselementes im Strahlengang zwischen dem Derotator und dem Objekthalterungselement angeordnet und die objektseitige Brennebene der Korrekturoptikeinheit ist derart verstellbar ausgebildet, dass sie mit der Oberfläche des zu untersuchenden Objektes zusammenfällt. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren mittels einer solchen Vorrichtung sowie eine Verwendung der Vorrichtung und eine Verwendung der Korrekturoptikeinheit.

Details

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung von Messungen an rotierenden Objekten, welche ein Objekthalterungselement zur Aufnahme und Rotation eines zu vermessenden Objektes, einen als Dove-Prisma ausgebildeten Derotator und eine Bilderfassungseinheit aufweist, welche entlang eines Strahlenganges angeordnet sind. Dabei ist eine Korrekturoptikeinheit zur Brechung des durch sie hindurchgehenden Lichtes an ihren Oberflächen mit einer objektseitigen Brennebene in Richtung des Objekthalterungselementes im Strahlengang zwischen dem Derotator und dem Objekthalterungselement angeordnet und die objektseitige Brennebene der Korrekturoptikeinheit ist derart verstellbar ausgebildet, dass sie mit der Oberfläche des zu untersuchenden Objektes zusammenfällt. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren mittels einer solchen Vorrichtung sowie eine Verwendung der Vorrichtung und eine Verwendung der Korrekturoptikeinheit.

Original languageGerman
IPC (International Patent Classification)G01B 11/24
Patent numberDE 10 2020 120398
Filing date3 Aug 2020
Country/TerritoryGermany
Publication statusPublished - 1 Sept 2022
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Patent

External IDs

ORCID /0000-0003-3813-2933/work/142656675
ORCID /0000-0003-0311-1745/work/142659315
ORCID /0000-0003-1370-064X/work/142659446
ORCID /0000-0002-7267-7016/work/142660098
ORCID /0000-0003-0554-2178/work/142660123

Keywords