Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung von Messungen an rotierenden Objekten
Research output: Intellectual Property › Patent application/Patent
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung von Messungen an rotierenden Objekten, welche ein Objekthalterungselement zur Aufnahme und Rotation eines zu vermessenden Objektes, einen als Dove-Prisma ausgebildeten Derotator und eine Bilderfassungseinheit aufweist, welche entlang eines Strahlenganges angeordnet sind. Dabei ist eine Korrekturoptikeinheit zur Brechung des durch sie hindurchgehenden Lichtes an ihren Oberflächen mit einer objektseitigen Brennebene in Richtung des Objekthalterungselementes im Strahlengang zwischen dem Derotator und dem Objekthalterungselement angeordnet und die objektseitige Brennebene der Korrekturoptikeinheit ist derart verstellbar ausgebildet, dass sie mit der Oberfläche des zu untersuchenden Objektes zusammenfällt. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren mittels einer solchen Vorrichtung sowie eine Verwendung der Vorrichtung und eine Verwendung der Korrekturoptikeinheit.
Details
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung von Messungen an rotierenden Objekten, welche ein Objekthalterungselement zur Aufnahme und Rotation eines zu vermessenden Objektes, einen als Dove-Prisma ausgebildeten Derotator und eine Bilderfassungseinheit aufweist, welche entlang eines Strahlenganges angeordnet sind. Dabei ist eine Korrekturoptikeinheit zur Brechung des durch sie hindurchgehenden Lichtes an ihren Oberflächen mit einer objektseitigen Brennebene in Richtung des Objekthalterungselementes im Strahlengang zwischen dem Derotator und dem Objekthalterungselement angeordnet und die objektseitige Brennebene der Korrekturoptikeinheit ist derart verstellbar ausgebildet, dass sie mit der Oberfläche des zu untersuchenden Objektes zusammenfällt. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren mittels einer solchen Vorrichtung sowie eine Verwendung der Vorrichtung und eine Verwendung der Korrekturoptikeinheit.
Original language | German |
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IPC (International Patent Classification) | G01B 11/24 |
Patent number | DE 10 2020 120398 |
Filing date | 3 Aug 2020 |
Country/Territory | Germany |
Publication status | Published - 1 Sept 2022 |
External IDs
ORCID | /0000-0003-3813-2933/work/142656675 |
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ORCID | /0000-0003-0311-1745/work/142659315 |
ORCID | /0000-0003-1370-064X/work/142659446 |
ORCID | /0000-0002-7267-7016/work/142660098 |
ORCID | /0000-0003-0554-2178/work/142660123 |