Verfahren zur Detektion und Dämpfung einer Modenkopplung und Verwendung für elektrostatische MEMS-Spiegel

Research output: Intellectual PropertyPatent application/Patent

Contributors

  • David Brunner - , Vienna University of Technology (Inventor)
  • Stephan Gerhard Albert - , Infineon Technologies AG (Inventor)
  • Franz Michael Darrer - , Infineon Technologies Austria AG (Inventor)
  • Georg Schitter - , Vienna University of Technology (Inventor)
  • Richard Schroedter - , Chair of Fundamentals of Electrical Engineering (Inventor)
  • Han Woong Yoo - , Vienna University of Technology (Inventor)

Abstract

Zusammenfassung: Ein Abtastsystem enthält eine
MEMS (mikroelektromechanisches System)-Abtaststruktur,
die mit einer gewünschten Drehbewegungsmode basierend
auf einem Antriebssignal ausgelegt ist; eine Vielzahl von
Kammantrieben, die dazu ausgelegt sind, die MEMS-
Abtaststruktur gemäß der gewünschten Drehbewegungs­
mode basierend auf dem Antriebssignal anzutreiben, wobei
jeder Kammantrieb eine Rotorkammelektrode und eine Sta­
torkammelektrode enthält, die ein kapazitives Element aus­
bilden, das eine Kapazität aufweist, die von dem Auslenk­
winkel der MEMS-Abtaststruktur abhängt; einen Treiber,
der dazu ausgelegt ist, das mindestens eine Antriebssignal
zu erzeugen; eine Erfassungsschaltung, die selektiv mit
mindestens einer Untergruppe der Vielzahl von Kamman­
trieben gekoppelt ist, um Erfassungssignale von diesen zu
empfangen, wobei jedes Erfassungssignal für die Kapazität
eines entsprechenden Kammantriebs repräsentativ ist; und
eine Verarbeitungsschaltung, die dazu ausgelegt ist, eine
Abtastrichtung der MEMS-Abtaststruktur in der gewünsch­
ten Drehbewegungsmode basierend auf den Erfassungssig­
nalen zu bestimmen.

Details

Zusammenfassung: Ein Abtastsystem enthält eine
MEMS (mikroelektromechanisches System)-Abtaststruktur,
die mit einer gewünschten Drehbewegungsmode basierend
auf einem Antriebssignal ausgelegt ist; eine Vielzahl von
Kammantrieben, die dazu ausgelegt sind, die MEMS-
Abtaststruktur gemäß der gewünschten Drehbewegungs­
mode basierend auf dem Antriebssignal anzutreiben, wobei
jeder Kammantrieb eine Rotorkammelektrode und eine Sta­
torkammelektrode enthält, die ein kapazitives Element aus­
bilden, das eine Kapazität aufweist, die von dem Auslenk­
winkel der MEMS-Abtaststruktur abhängt; einen Treiber,
der dazu ausgelegt ist, das mindestens eine Antriebssignal
zu erzeugen; eine Erfassungsschaltung, die selektiv mit
mindestens einer Untergruppe der Vielzahl von Kamman­
trieben gekoppelt ist, um Erfassungssignale von diesen zu
empfangen, wobei jedes Erfassungssignal für die Kapazität
eines entsprechenden Kammantriebs repräsentativ ist; und
eine Verarbeitungsschaltung, die dazu ausgelegt ist, eine
Abtastrichtung der MEMS-Abtaststruktur in der gewünsch­
ten Drehbewegungsmode basierend auf den Erfassungssig­
nalen zu bestimmen.
Original languageGerman
IPC (International Patent Classification)B81B 7/02,B81B 3/00,G02B 26/10,G01S 7/481
Patent numberDE 10 2021 128 669 A1
Filing date4 Nov 2021
Country/TerritoryGermany
Publication statusPublished - 15 Jun 2022
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Patent

External IDs

ORCID /0000-0003-3259-4571/work/142660115