Verfahren zur Detektion und Dämpfung einer Modenkopplung und Verwendung für elektrostatische MEMS-Spiegel
Publikation: Geistiges Eigentum › Patentanmeldung/Patent
Beitragende
Abstract
Zusammenfassung: Ein Abtastsystem enthält eine
MEMS (mikroelektromechanisches System)-Abtaststruktur,
die mit einer gewünschten Drehbewegungsmode basierend
auf einem Antriebssignal ausgelegt ist; eine Vielzahl von
Kammantrieben, die dazu ausgelegt sind, die MEMS-
Abtaststruktur gemäß der gewünschten Drehbewegungs
mode basierend auf dem Antriebssignal anzutreiben, wobei
jeder Kammantrieb eine Rotorkammelektrode und eine Sta
torkammelektrode enthält, die ein kapazitives Element aus
bilden, das eine Kapazität aufweist, die von dem Auslenk
winkel der MEMS-Abtaststruktur abhängt; einen Treiber,
der dazu ausgelegt ist, das mindestens eine Antriebssignal
zu erzeugen; eine Erfassungsschaltung, die selektiv mit
mindestens einer Untergruppe der Vielzahl von Kamman
trieben gekoppelt ist, um Erfassungssignale von diesen zu
empfangen, wobei jedes Erfassungssignal für die Kapazität
eines entsprechenden Kammantriebs repräsentativ ist; und
eine Verarbeitungsschaltung, die dazu ausgelegt ist, eine
Abtastrichtung der MEMS-Abtaststruktur in der gewünsch
ten Drehbewegungsmode basierend auf den Erfassungssig
nalen zu bestimmen.
MEMS (mikroelektromechanisches System)-Abtaststruktur,
die mit einer gewünschten Drehbewegungsmode basierend
auf einem Antriebssignal ausgelegt ist; eine Vielzahl von
Kammantrieben, die dazu ausgelegt sind, die MEMS-
Abtaststruktur gemäß der gewünschten Drehbewegungs
mode basierend auf dem Antriebssignal anzutreiben, wobei
jeder Kammantrieb eine Rotorkammelektrode und eine Sta
torkammelektrode enthält, die ein kapazitives Element aus
bilden, das eine Kapazität aufweist, die von dem Auslenk
winkel der MEMS-Abtaststruktur abhängt; einen Treiber,
der dazu ausgelegt ist, das mindestens eine Antriebssignal
zu erzeugen; eine Erfassungsschaltung, die selektiv mit
mindestens einer Untergruppe der Vielzahl von Kamman
trieben gekoppelt ist, um Erfassungssignale von diesen zu
empfangen, wobei jedes Erfassungssignal für die Kapazität
eines entsprechenden Kammantriebs repräsentativ ist; und
eine Verarbeitungsschaltung, die dazu ausgelegt ist, eine
Abtastrichtung der MEMS-Abtaststruktur in der gewünsch
ten Drehbewegungsmode basierend auf den Erfassungssig
nalen zu bestimmen.
Details
Zusammenfassung: Ein Abtastsystem enthält eine
MEMS (mikroelektromechanisches System)-Abtaststruktur,
die mit einer gewünschten Drehbewegungsmode basierend
auf einem Antriebssignal ausgelegt ist; eine Vielzahl von
Kammantrieben, die dazu ausgelegt sind, die MEMS-
Abtaststruktur gemäß der gewünschten Drehbewegungs
mode basierend auf dem Antriebssignal anzutreiben, wobei
jeder Kammantrieb eine Rotorkammelektrode und eine Sta
torkammelektrode enthält, die ein kapazitives Element aus
bilden, das eine Kapazität aufweist, die von dem Auslenk
winkel der MEMS-Abtaststruktur abhängt; einen Treiber,
der dazu ausgelegt ist, das mindestens eine Antriebssignal
zu erzeugen; eine Erfassungsschaltung, die selektiv mit
mindestens einer Untergruppe der Vielzahl von Kamman
trieben gekoppelt ist, um Erfassungssignale von diesen zu
empfangen, wobei jedes Erfassungssignal für die Kapazität
eines entsprechenden Kammantriebs repräsentativ ist; und
eine Verarbeitungsschaltung, die dazu ausgelegt ist, eine
Abtastrichtung der MEMS-Abtaststruktur in der gewünsch
ten Drehbewegungsmode basierend auf den Erfassungssig
nalen zu bestimmen.
MEMS (mikroelektromechanisches System)-Abtaststruktur,
die mit einer gewünschten Drehbewegungsmode basierend
auf einem Antriebssignal ausgelegt ist; eine Vielzahl von
Kammantrieben, die dazu ausgelegt sind, die MEMS-
Abtaststruktur gemäß der gewünschten Drehbewegungs
mode basierend auf dem Antriebssignal anzutreiben, wobei
jeder Kammantrieb eine Rotorkammelektrode und eine Sta
torkammelektrode enthält, die ein kapazitives Element aus
bilden, das eine Kapazität aufweist, die von dem Auslenk
winkel der MEMS-Abtaststruktur abhängt; einen Treiber,
der dazu ausgelegt ist, das mindestens eine Antriebssignal
zu erzeugen; eine Erfassungsschaltung, die selektiv mit
mindestens einer Untergruppe der Vielzahl von Kamman
trieben gekoppelt ist, um Erfassungssignale von diesen zu
empfangen, wobei jedes Erfassungssignal für die Kapazität
eines entsprechenden Kammantriebs repräsentativ ist; und
eine Verarbeitungsschaltung, die dazu ausgelegt ist, eine
Abtastrichtung der MEMS-Abtaststruktur in der gewünsch
ten Drehbewegungsmode basierend auf den Erfassungssig
nalen zu bestimmen.
Originalsprache | Deutsch |
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IPC (Internationalen Patentklassifikation) | B81B 7/02,B81B 3/00,G02B 26/10,G01S 7/481 |
Veröffentlichungsnummer | DE 10 2021 128 669 A1 |
Anmeldedatum | 4 Nov. 2021 |
Land/Gebiet | Deutschland |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 15 Juni 2022 |
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