Verfahren zur Strukturierung dünner Schichten mittels optischer Lithographie und Anordnung zur Durchführung der optischen Lithographie: Praktische Erprobung

Publikation: Geistiges EigentumPatentanmeldung/Patent

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OriginalspracheDeutsch
VeröffentlichungsnummerDE10326223
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2008
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Patent

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ORCID /0000-0002-7625-343X/work/150881359

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