Verfahren zur Strukturierung dünner Schichten mittels optischer Lithographie und Anordnung zur Durchführung der optischen Lithographie: Praktische Erprobung
Publikation: Geistiges Eigentum › Patentanmeldung/Patent
Beitragende
Details
Originalsprache | Deutsch |
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Veröffentlichungsnummer | DE10326223 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2008 |
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Patent
Externe IDs
ORCID | /0000-0002-7625-343X/work/150881359 |
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