Two-dimensional low-coherence interferometry for the characterization of nanometer wafer topographies.

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Beitragende

C. Taudt - (Autor:in)
T. Baselt - (Autor:in)
B. Nelsen - (Autor:in)
H. Aßmann - (Autor:in)
A. Greiner - (Autor:in)
E. Koch - , Klinik und Poliklinik für Anaesthesiologie und Intensivtherapie (Autor:in)
P. Hartmann - , Westsächsische Hochschule Zwickau (Autor:in)

ORCID	/0000-0003-0554-2178/work/148606935