Two-dimensional low-coherence interferometry for the characterization of nanometer wafer topographies.

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Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings of SPIE
Band9890
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

ORCID /0000-0003-0554-2178/work/148606935
Scopus 84983059532

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