Scanning Spreading Resistance Microscopy analysis of locally blocked implant sites

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • S. Doering - (Autor:in)
  • A. Wachowiak - (Autor:in)
  • U. Winkler - (Autor:in)
  • M. Richter - (Autor:in)
  • J. Goehler - (Autor:in)
  • H. Roetz - (Autor:in)
  • S. Eckl - (Autor:in)
  • T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik, NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis) 77-81
FachzeitschriftMicroelectronic Engineering
Jahrgang122
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 84900534628

Schlagworte

Bibliotheksschlagworte