Ruthenium(ii) carbonyl amidates – a new class of precursors for atomic layer deposition

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • Jorit Obenlüneschloß - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • Cara Lena Nies - , University College Cork (Autor:in)
  • Michael Gock - , Heraeus Precious Metals GmbH & Co. KG (Autor:in)
  • Michael Unkrig-Bau - , Heraeus Precious Metals GmbH & Co. KG (Autor:in)
  • Jan Niklas Huster - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • Michael Nolan - , University College Cork (Autor:in)
  • Anjana Devi - , Professur für Materialchemie (gB/IFW), Ruhr-Universität Bochum, Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)

Abstract

Ru-based thin films are essential for electronics and catalysis. Their growth through atomic layer deposition (ALD) depends on precursors that balance reactivity, volatility, and thermal stability. We present the first Ru dicarbonyl bisamidate complexes as a new and promising class of ALD precursors for Ru-based materials. Modifying the substitution pattern of the amidate ligands yielded [Ru(CO)2(N-sBuiPrAD)2], as a volatile liquid precursor with excellent thermal properties. First principles simulations predict favorable interactions with common ALD co-reactants, indicating its potential for thin film deposition.

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)4046-4050
Seitenumfang5
FachzeitschriftDalton transactions
Jahrgang55
Ausgabenummer10
PublikationsstatusVeröffentlicht - 10 März 2026
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

PubMed 41601179

Schlagworte

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