Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera

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Beitragende

  • Thilo Sandner - , Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (Autor:in)
  • Thomas Grasshoff - , Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (Autor:in)
  • Markus Schwarzenberg - , Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (Autor:in)
  • Richard Schroedter - , Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (Autor:in)
  • Harald Schenk - , Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Fachzeitschrift Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS
Jahrgang13
Ausgabenummer1
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 84897792314
ORCID /0000-0003-3259-4571/work/142249653

Schlagworte

Schlagwörter

  • optical MEMS, linearized raster scanning, vertical comb drive, LIDAR, three-dimensional sensing, time-of-flight distance measurement, flat based driving control