Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • Thilo Sandner - , Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (Autor:in)
  • Thomas Grasshoff - , Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (Autor:in)
  • Markus Schwarzenberg - , Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (Autor:in)
  • Richard Schroedter - , Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (Autor:in)
  • Harald Schenk - , Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Fachzeitschrift Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS
Jahrgang13
Ausgabenummer1
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 84897792314
ORCID /0000-0003-3259-4571/work/142249653

Schlagworte

Schlagwörter

  • optical MEMS, linearized raster scanning, vertical comb drive, LIDAR, three-dimensional sensing, time-of-flight distance measurement, flat based driving control