Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology : JM3
ISSNs: 2708-8340, 1932-5150, 1537-1646, 1932-5134
Weitere durchsuchbare ISSN (elektronisch): 2708-8340
SPIE - The international society for optics and photonics, Bellingham, USA/Vereinigte Staaten
Scopus-Bewertung (2022): CiteScore 2,9 SJR 0,298 SNIP 1,036
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| Titel |
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| Weitere durchsuchbare Titel | JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems |
| ISSNs | 2708-8340, 1932-5150, 1537-1646, 1932-5134 |
| Weitere durchsuchbare ISSN (elektronisch) | 2708-8340 |
| Verlag | SPIE - The international society for optics and photonics, Bellingham |
| Land/Gebiet | USA/Vereinigte Staaten |
| ZDB-ID | 3056313-6 |