Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D-lasercamera

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Thilo Sandner - , Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Autor:in)
Thomas Grasshoff - , Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Autor:in)
Richard Schroedter - , Professur für Optoelektronische Bauelemente und Systeme (gB/FG), Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Autor:in)
Markus Schwarzenberg - , Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Autor:in)

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	51-61
Fachzeitschrift	Technisches Messen : tm ; Sensoren, Geräte, Systeme
Jahrgang	81
Ausgabenummer	2
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2014
Peer-Review-Status	Ja

Scopus	84900674334
ORCID	/0000-0003-3259-4571/work/142249657

Optical MEMS, micro scanning mirror, 3D sensing, ToF time-of-flight distance measurement, robotics