Pursuing the Increase of Factory Automation in 200mm Frontend Manufacturing to Manage the Changes Imposed by the Transition from High-Volume Low-Mix to High-Mix Low-Volume Production

Publikation: Beitrag zu KonferenzenPaperBeigetragenBegutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten148-155
Seitenumfang8
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2008
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 49149107481
ORCID /0000-0001-6942-3763/work/142252804

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