Optimizing process conditions for improved Hf<inf>1 − x</inf>Zr<inf>x</inf>O<inf>2</inf>ferroelectric capacitor performance

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	48-51
Seitenumfang	4
Fachzeitschrift	Microelectronic Engineering
Jahrgang	178
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2017
Peer-Review-Status	Ja

Scopus	85018359703