OLED compatible water-based nanolaminate encapsulation systems using ozone based starting layer

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Beitragende

A. Singh - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
F. Nehm - , Professur für Optoelektronik (Autor:in)
L. Müller-Meskamp - , Professur für Optoelektronik (Autor:in)
C. Hossbach - , Professur für Halbleitertechnik (Autor:in)
M. Albert - , Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) (Autor:in)
U. Schroeder - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
K. Leo - , Professur für Optoelektronik (Autor:in)
T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik, Technische Universität Dresden (Autor:in)

Scopus	84905304710
ORCID	/0000-0003-3814-0378/work/142256110

Encapsulation, Water and ozone based diffusion barriers, Atomic layer deposition, Permeation barrier, Flexible electronics