Non-Destructive Imaging of Organosilicate Glass (OSG) Thin Films at Low Voltage With the EsB Detector

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • Elham Moayedi - (Autor:in)
  • Ruediger Rosenkranz - (Autor:in)
  • Andre Clausner - (Autor:in)
  • Khashayar Pakbaz - (Autor:in)
  • Ehrenfried Zschech - , Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (Autor:in)
  • Maria Aranzazu Garitagoitia Cid - , Dresden Center for Nanoanalysis (DCN) (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)461-464
Seitenumfang4
FachzeitschriftIEEE transactions on device and materials reliability
Jahrgang16
Ausgabenummer4
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1 Dez. 2016
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 85005950837

Schlagworte

Forschungsprofillinien der TU Dresden

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