Next generation ferroelectric materials for semiconductor process integration and their applications
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
Originalsprache | Englisch |
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Aufsatznummer | 100901 |
Fachzeitschrift | Journal of applied physics |
Jahrgang | 129 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 14 März 2021 |
Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
Scopus | 85102461997 |
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