Monodisperse aerosol particle deposition: Prospects for nanoelectronics

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • W Prost - (Autor:in)
  • FE Kruis - (Autor:in)
  • F Otten - (Autor:in)
  • K Nielsch - , Universität Duisburg-Essen (Autor:in)
  • B Rellinghaus - , Universität Duisburg-Essen (Autor:in)
  • U Auer - (Autor:in)
  • A Peled - (Autor:in)
  • EF Wassermann - (Autor:in)
  • Heinz Fissan - (Autor:in)
  • FJ Tegude - (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)535-538
Seitenumfang4
FachzeitschriftMicroelectronic Engineering
Jahrgang42
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1 März 1998
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 0031674745

Schlagworte