Low-thermal budget flash light annealing for Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>surface passivation

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)631-635
Seitenumfang5
FachzeitschriftPhysica Status Solidi - Rapid Research Letters
Jahrgang9
Ausgabenummer11
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
Peer-Review-StatusJa

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