Low-thermal budget flash light annealing for Al2O3 surface passivation

Low-thermal budget flash light annealing for Al₂O₃ surface passivation

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

D.K. Simon - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
T. Henke - , Professur für Halbleitertechnik, Center for Advancing Electronics Dresden (cfaed) (Autor:in)
P.M. Jordan - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
F.P.G. Fengler - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik, Center for Advancing Electronics Dresden (cfaed), NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
J.W. Bartha - , Professur für Halbleitertechnik, Center for Advancing Electronics Dresden (cfaed) (Autor:in)
I. Dirnstorfer - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	631-635
Seitenumfang	5
Fachzeitschrift	Physica Status Solidi - Rapid Research Letters
Jahrgang	9
Ausgabenummer	11
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2015
Peer-Review-Status	Ja

Scopus	84951869162