Interpretation of azimuthal angle dependence of periodic gratings in Mueller matrix spectroscopic ellipsometry

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Anett Heinrich - (Autor:in)
Joerg Bischoff - (Autor:in)
Kurt Meiner - (Autor:in)
Uwe Richter - (Autor:in)
Thomas Mikolajick - , Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
Ingo Dirnstorfer - (Autor:in)

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	604-610
Fachzeitschrift	Journal of the Optical Society of America : JOSA; A, Optics, image science, and vision
Jahrgang	32
Ausgabenummer	4
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2015
Peer-Review-Status	Ja

WOS	000352209700013
Scopus	84982179891