Integration of molecular-layer-deposited aluminum alkoxide interlayers into inorganic nanolaminate barriers for encapsulation of organic electronics with improved stress resistance

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer01A119
FachzeitschriftJournal of Vacuum Science & Technology A
Jahrgang33
Ausgabenummer1
PublikationsstatusVeröffentlicht - Jan. 2015
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 84910071881
ORCID /0000-0003-3814-0378/work/142256109

Schlagworte