Evaluation of the thermal stability of a low-coherence interferometer for precision surface profilometry.

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Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings of SPIE
Band10110
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2017
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

ORCID /0000-0003-0554-2178/work/148606933

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