Evaluation of the electrical and physical properties of thin calcium titanate high-k insulators for capacitor applications

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Beitragende

A. Krause - , Professur für Theorie künstlerischen Gestaltens und Kunstpsychologie, Institut für Kunst- und Musikwissenschaft (Autor:in)
W. Weber - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
A. Jahn - , Professur für Kernphysik (Autor:in)
D. Pohl - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
B. Rellinghaus - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
U. Schroeder - (Autor:in)
J. Heitmann - (Autor:in)
T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik (Autor:in)

Originalsprache	Englisch
Fachzeitschrift	Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
Jahrgang	29
Ausgabenummer	1
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 1 Jan. 2011
Peer-Review-Status	Ja