Dual-frequency plasma surface modification of polyimide thin films

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Beitragende

Gunnar Suchaneck - , Professur für Festkörperelektronik (Autor:in)
Margarita Günther - , Professur für Festkörperelektronik (Autor:in)
Barbara Adolphi - , Professur für Mikrosystemtechnik (Autor:in)
Gerald Gerlach - , Professur für Festkörperelektronik (Autor:in)
Karin Sahre - , Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden (Autor:in)
Klaus-Jochen Eichhorn - , Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden (Autor:in)
Alexandr G. Deineka - , Czech Academy of Sciences (Autor:in)
Lubomir Jastrabik - , Czech Academy of Sciences (Autor:in)

Originalsprache	Englisch
Titel	Proceedings of ISPC 15, Orleans, July 9-13, 2001
Seiten	2485-2490
Seitenumfang	6
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 13 Juli 2001
Peer-Review-Status	Ja

ORCID	/0000-0002-7062-9598/work/222761382