Direct chemical vapor deposition of large-area carbon thin films on gallium nitride for transparent electrodes: A first attempt

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • Jie Sun - (Autor:in)
  • Matthew T Cole - (Autor:in)
  • S Awais Ahmad - (Autor:in)
  • Olof Backe - (Autor:in)
  • Tommy Ive - (Autor:in)
  • Markus Loffler - , Chalmers University of Technology (Autor:in)
  • Niclas Lindvall - (Autor:in)
  • Eva Olsson - (Autor:in)
  • Kenneth BK Teo - (Autor:in)
  • Johan Liu - (Autor:in)
  • Anders Larsson - (Autor:in)
  • August Yurgens - (Autor:in)
  • Asa Haglund - (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)494-501
Seitenumfang8
FachzeitschriftIEEE transactions on semiconductor manufacturing
Jahrgang25
Ausgabenummer3
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 84864681423

Schlagworte