IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
ISSNs: 0894-6507
Weitere durchsuchbare ISSN (elektronisch): 1558-2345
Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Scopus-Bewertung (2023): CiteScore 5,2 SJR 0,967 SNIP 1,237
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| Titel |
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| Weitere durchsuchbare Titel | IEEE Trans Semicond Man, IEEE Trans Semicond Manuf |
| ISSNs | 0894-6507 |
| Weitere durchsuchbare ISSN (elektronisch) | 1558-2345 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. |
| ZDB-ID | 166215-6 |
| ZDB-ID | 2035198-7 |