Correlations between microstructure and Q-factor of tunable thin film bulk acoustic wave resonators

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • Andrei Vorobiev - (Autor:in)
  • Spartak Gevorgian - (Autor:in)
  • Markus Löffler - , Chalmers University of Technology (Autor:in)
  • Eva Olsson - (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)054102
Seitenumfang1
FachzeitschriftJournal of applied physics
Jahrgang110
Ausgabenummer5
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 80052950361

Schlagworte