Control of unintentional oxygen incorporation in GaN
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 02B104 |
| Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics |
| Jahrgang | 35 |
| Ausgabenummer | 2 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2017 |
| Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
| Scopus | 85012898782 |
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