Control of unintentional oxygen incorporation in GaN

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Originalsprache	Englisch
Aufsatznummer	02B104
Fachzeitschrift	Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena
Jahrgang	35
Ausgabenummer	2
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2017
Peer-Review-Status	Ja

Scopus	85012898782