Characterization of a dispersion-controlled approach to surface profilometry on wafers using a white-light interferometer.
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Beitragende
Details
Originalsprache | Englisch |
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Titel | Proceedings of SPIE |
Band | 9517 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2015 |
Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
ORCID | /0000-0003-0554-2178/work/148606936 |
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