Breakdown and Protection of ALD Moisture Barrier Thin Films
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 22121-22127 |
| Seitenumfang | 7 |
| Fachzeitschrift | ACS applied materials & interfaces |
| Jahrgang | 7 |
| Ausgabenummer | 40 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 14 Okt. 2015 |
| Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
| Scopus | 84944338762 |
|---|---|
| ORCID | /0000-0003-3814-0378/work/142256108 |
Schlagworte
Schlagwörter
- water vapor, barrier, encapsulation, atomic layer deposition, corrosion, WVTR