Vorrichtung zur spektrometrischen Erfassung von Licht mit einer Photodiode, die monolithisch in die Schichtstruktur eines wellenlängenselektiven Filters integriert ist
Research output: Intellectual Property › Patent application/Patent
Contributors
Details
Original language | German |
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IPC (International Patent Classification) | H01L 31/ 054 A I |
Patent number | DE112015004603 |
Country/Territory | Germany |
Priority date | 7 Oct 2015 |
Priority number | WO2015DE00503 |
Publication status | Published - 29 Jun 2017 |
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