Vorrichtung zur spektrometrischen Erfassung von Licht mit einer Photodiode, die monolithisch in die Schichtstruktur eines wellenlängenselektiven Filters integriert ist

Research output: Intellectual property › Patent application/Patent

Contributors

Details

Original languageGerman
IPC (International Patent Classification)H01L 31/ 054 A I
Patent numberDE112015004603
Country/TerritoryGermany
Priority date7 Oct 2015
Priority numberWO2015DE00503
Publication statusPublished - 29 Jun 2017
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