Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials

Research output: Intellectual PropertyPatent application/Patent

Contributors

  • Fraunhofer-Gesellschaft

Abstract

Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Dampfverteilungsraum zum Aufnehmen einer Verdampfungsquelle, wobei der Dampfverteilungsraum einen Düsenabschnitt aufweist, der eine längliche Form hat, die eine Länge und eine Breite hat, wobei die Länge größer oder gleich einer Breite des zu beschichtenden Substrats ist, und wobei die Breite kleiner als die Länge ist, und wobei der Düsenabschnitt ferner eine Höhe aufweist, um die der Düsenabschnitt von dem Dampfverteilungsraum hervorsteht, wobei die Höhe größer als die Breite ist.

Details

Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Dampfverteilungsraum zum Aufnehmen einer Verdampfungsquelle, wobei der Dampfverteilungsraum einen Düsenabschnitt aufweist, der eine längliche Form hat, die eine Länge und eine Breite hat, wobei die Länge größer oder gleich einer Breite des zu beschichtenden Substrats ist, und wobei die Breite kleiner als die Länge ist, und wobei der Düsenabschnitt ferner eine Höhe aufweist, um die der Düsenabschnitt von dem Dampfverteilungsraum hervorsteht, wobei die Höhe größer als die Breite ist.

Original languageGerman
IPC (International Patent Classification)C23C 14/ 54 A I
Patent numberDE102005010929
Country/TerritoryGermany
Priority date9 Mar 2005
Priority numberDE20051010929
Publication statusPublished - 11 May 2006
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