Verfahren zur geometrischen Strukturierung oder zum Zerschneiden dielektrischer Elastomeraktoren

Research output: Intellectual PropertyPatent application/Patent

Contributors

  • Irene Jansen - (Inventor)
  • Tom Schiefer - (Inventor)
  • Tilo Köckritz - (Inventor)
  • Andreas Richter - , Chair of Microsystems (Inventor)
  • Rene Luther - (Inventor)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur geometrischen Strukturierung oder zum Zuschneiden dielektrischer Elastomeraktoren (DEA). Bei dem Verfahren werden Elastomeraktoren, die mindestens zwei elastisch verformbare schichtfoermigen Elektroden und eine mit den Elektroden flaechig verbundene elastisch verformbare und zwischen den Elektroden angeordnete dielektrische Schicht aufweisen, bearbeitet. Es wird mindestens eine der beiden Elektroden mittels eines Laserstrahls bestrahlt, der eine Wellenlaenge aufweist, die von dem Elektrodenwerkstoff absorbiert und die vom Werkstoff der dielektrischen Schicht nicht oder deutlich weniger absorbiert wird, so dass im Einwirkbereich des Laserstrahlbrennflecks zumindest ueberwiegend Werkstoff mindestens einer der Elektroden abgetragen wird, wobei der jeweilige Elastomeraktor und der Brennfleck des Laserstrahls zweidimensional …

Details

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur geometrischen Strukturierung oder zum Zuschneiden dielektrischer Elastomeraktoren (DEA). Bei dem Verfahren werden Elastomeraktoren, die mindestens zwei elastisch verformbare schichtfoermigen Elektroden und eine mit den Elektroden flaechig verbundene elastisch verformbare und zwischen den Elektroden angeordnete dielektrische Schicht aufweisen, bearbeitet. Es wird mindestens eine der beiden Elektroden mittels eines Laserstrahls bestrahlt, der eine Wellenlaenge aufweist, die von dem Elektrodenwerkstoff absorbiert und die vom Werkstoff der dielektrischen Schicht nicht oder deutlich weniger absorbiert wird, so dass im Einwirkbereich des Laserstrahlbrennflecks zumindest ueberwiegend Werkstoff mindestens einer der Elektroden abgetragen wird, wobei der jeweilige Elastomeraktor und der Brennfleck des Laserstrahls zweidimensional …
Original languageGerman
Country/TerritoryGermany
Publication statusPublished - 2014
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Patent

External IDs

ORCID /0000-0002-8588-9755/work/142659719