Der Beitrag führt zuerst in die Halbleiterfertigung und die damit verbundene innerbetriebliche Logistik, dabei vor allem das Transport- und Handhabungssystem, ein. Bei der Planung und Steuerung solcher Anlagen stellen sich sehr anspruchsvolle Aufgaben, die nur mithilfe der Simulation zu lösen sind. Hierzu wird dargestellt, wie sich der Simulationseinsatz in der Halbleiterproduktion und -logistik gestaltet. Mit der Komplexität der Prozesse und Systeme wächst natürlich auch die Komplexität der eingesetzten Simulationsmodelle – auf die Frage nach einem angemessenen Abstraktionsgrad gibt es bislang jedoch keine befriedigende Antwort. Der Beitrag stellt dazu Lösungsansätze vor und zeigt, worauf künftige Forschungsarbeiten fokussieren sollten.