Photodetektor mit verbessertem Detektionsergebnis
Research output: Intellectual property › Patent application/Patent
Contributors
- Senorics GmbH
Abstract
Die Erfindung betrifft verschiedene Aspekte eines Photodetektors zur spektral selektiven Detektion von elektromagnetischer Strahlung mit einem ersten optoelektronischen Bauelement zur Detektion einer ersten Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung. Das erste optoelektronische Bauelement weist dabei eine erste optische Kavität und mindestens eine in der ersten optischen Kavität angeordnete Detektionszelle auf. Die erste optische Kavität wird durch zwei voneinander beabstandete parallele Spiegelschichten gebildet, wobei die Länge der ersten optischen Kavität so ausgestaltet ist, dass sich für die erste Wellenlänge eine dieser zugeordnete Resonanzwelle i. Ordnung in der ersten optischen Kavität ausbildet Jede Detektionszelle weist eine photoaktive Schicht auf, wobei die photoaktive Schicht jeweils so innerhalb der ersten optischen Kavität angeordnet ist, dass genau ein Schwingungsmaximum der Resonanzwelle innerhalb der photoaktiven Schicht liegt Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist die Ordnung der Resonanzwelle des ersten optoelektronischen Bauelements größer als 1. Gemäß einem zweiten Aspekt weist das erste optoelektronische Bauelement neben der Detektionszelle mindestens eine optisch transparente Abstandshalterschicht, die in der ersten optischen Kavität zwischen einer der Spiegelschichten und der Detektionszelle angeordnet ist, und mindestens einen Außenkontakt auf, der an eine äußere Oberfläche der Detektionszelle angrenzt und aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht.
Details
Die Erfindung betrifft verschiedene Aspekte eines Photodetektors zur spektral selektiven Detektion von elektromagnetischer Strahlung mit einem ersten optoelektronischen Bauelement zur Detektion einer ersten Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung. Das erste optoelektronische Bauelement weist dabei eine erste optische Kavität und mindestens eine in der ersten optischen Kavität angeordnete Detektionszelle auf. Die erste optische Kavität wird durch zwei voneinander beabstandete parallele Spiegelschichten gebildet, wobei die Länge der ersten optischen Kavität so ausgestaltet ist, dass sich für die erste Wellenlänge eine dieser zugeordnete Resonanzwelle i. Ordnung in der ersten optischen Kavität ausbildet Jede Detektionszelle weist eine photoaktive Schicht auf, wobei die photoaktive Schicht jeweils so innerhalb der ersten optischen Kavität angeordnet ist, dass genau ein Schwingungsmaximum der Resonanzwelle innerhalb der photoaktiven Schicht liegt Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist die Ordnung der Resonanzwelle des ersten optoelektronischen Bauelements größer als 1. Gemäß einem zweiten Aspekt weist das erste optoelektronische Bauelement neben der Detektionszelle mindestens eine optisch transparente Abstandshalterschicht, die in der ersten optischen Kavität zwischen einer der Spiegelschichten und der Detektionszelle angeordnet ist, und mindestens einen Außenkontakt auf, der an eine äußere Oberfläche der Detektionszelle angrenzt und aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht.
Original language | German |
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IPC (International Patent Classification) | H01L 51/ 44 A I |
Patent number | DE102019113343 |
Country/Territory | Germany |
Priority date | 20 May 2019 |
Priority number | DE201910113343 |
Publication status | Published - 26 Nov 2020 |