Photodetektor mit verbessertem Detektionsergebnis

Research output: Intellectual propertyPatent application/Patent

Contributors

  • Senorics GmbH

Abstract

Die Erfindung betrifft verschiedene Aspekte eines Photodetektors zur spektral selektiven Detektion von elektromagnetischer Strahlung mit einem ersten optoelektronischen Bauelement zur Detektion einer ersten Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung. Das erste optoelektronische Bauelement weist dabei eine erste optische Kavität und mindestens eine in der ersten optischen Kavität angeordnete Detektionszelle auf. Die erste optische Kavität wird durch zwei voneinander beabstandete parallele Spiegelschichten gebildet, wobei die Länge der ersten optischen Kavität so ausgestaltet ist, dass sich für die erste Wellenlänge eine dieser zugeordnete Resonanzwelle i. Ordnung in der ersten optischen Kavität ausbildet Jede Detektionszelle weist eine photoaktive Schicht auf, wobei die photoaktive Schicht jeweils so innerhalb der ersten optischen Kavität angeordnet ist, dass genau ein Schwingungsmaximum der Resonanzwelle innerhalb der photoaktiven Schicht liegt Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist die Ordnung der Resonanzwelle des ersten optoelektronischen Bauelements größer als 1. Gemäß einem zweiten Aspekt weist das erste optoelektronische Bauelement neben der Detektionszelle mindestens eine optisch transparente Abstandshalterschicht, die in der ersten optischen Kavität zwischen einer der Spiegelschichten und der Detektionszelle angeordnet ist, und mindestens einen Außenkontakt auf, der an eine äußere Oberfläche der Detektionszelle angrenzt und aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht.

Details

Die Erfindung betrifft verschiedene Aspekte eines Photodetektors zur spektral selektiven Detektion von elektromagnetischer Strahlung mit einem ersten optoelektronischen Bauelement zur Detektion einer ersten Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung. Das erste optoelektronische Bauelement weist dabei eine erste optische Kavität und mindestens eine in der ersten optischen Kavität angeordnete Detektionszelle auf. Die erste optische Kavität wird durch zwei voneinander beabstandete parallele Spiegelschichten gebildet, wobei die Länge der ersten optischen Kavität so ausgestaltet ist, dass sich für die erste Wellenlänge eine dieser zugeordnete Resonanzwelle i. Ordnung in der ersten optischen Kavität ausbildet Jede Detektionszelle weist eine photoaktive Schicht auf, wobei die photoaktive Schicht jeweils so innerhalb der ersten optischen Kavität angeordnet ist, dass genau ein Schwingungsmaximum der Resonanzwelle innerhalb der photoaktiven Schicht liegt Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist die Ordnung der Resonanzwelle des ersten optoelektronischen Bauelements größer als 1. Gemäß einem zweiten Aspekt weist das erste optoelektronische Bauelement neben der Detektionszelle mindestens eine optisch transparente Abstandshalterschicht, die in der ersten optischen Kavität zwischen einer der Spiegelschichten und der Detektionszelle angeordnet ist, und mindestens einen Außenkontakt auf, der an eine äußere Oberfläche der Detektionszelle angrenzt und aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht.

Original languageGerman
IPC (International Patent Classification)H01L 51/ 44 A I
Patent numberDE102019113343
Country/TerritoryGermany
Priority date20 May 2019
Priority numberDE201910113343
Publication statusPublished - 26 Nov 2020
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