Eine Beschichtungseinrichtung (100), die für die Beschichtung eines Substrats (1) konfiguriert ist, umfasst eine Injektionskammer (10), die zur Aufnahme von Beschichtungsmaterial (2) eingerichtet ist, und eine Diffusoreinrichtung (20), die die Injektionskammer (10) mehrseitig umgibt und zur Übertragung des Beschichtungsmaterials (2) von der Injektionskammer (10) in mehrere Raumrichtungen in eine Umgebung der Beschichtungseinrichtung (100) eingerichtet ist, um das Beschichtungsmaterial (2) in der Umgebung der Beschichtungseinrichtung (100) in einem gasförmigen Zustand bereitzustellen, wobei die Diffusoreinrichtung (20) eine äußere Oberfläche (21) mit einer Raumform aufweist und heizbar ist. Es wird auch ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats (1) beschrieben, wobei die Beschichtungseinrichtung (100) verwendet wird.