Eine Vorrichtung zum Aufdampfen eines Beschichtungsmaterials auf einem Substrat umfasst einen Dampfverteilungsraum (115) zum Aufnehmen einer Verdampfungsquelle, wobei der Dampfverteilungsraum einen Düsenabschnitt (117) aufweist, der eine längliche Form hat, die eine Länge und eine Breite hat, wobei die Länge (121) größer oder gleich einer Breite des zu beschichtenden Substrats ist, und wobei die Breite kleiner als die Länge ist, und wobei der Düsenabschnitt ferner eine Höhe (123) aufweist, um die der Düsenabschnitt von dem Dampfverteilungsraum hervorsteht, wobei die Höhe größer als die Breite ist.