Visual Analytics for Data-Driven Analysis in Semiconductor Manufacturing

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Details

OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings ASIM SST 2020, 25. Symposium Simulationstechnik, 14.-15.10.2020, Online-Tagung
ErscheinungsortVienna
Herausgeber (Verlag)ARGESIM Publisher Vienna
Seiten137-139
ISBN (elektronisch)978-3-901608-93-3
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2020
Peer-Review-StatusJa

Publikationsreihe

ReiheARGESIM Report
Band59

Externe IDs

ORCID /0000-0002-1012-8337/work/153653888
ORCID /0000-0002-1484-7187/work/153654448