Visual Analytics for Data-Driven Analysis in Semiconductor Manufacturing
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Beitragende
Details
Originalsprache | Englisch |
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Titel | Proceedings ASIM SST 2020, 25. Symposium Simulationstechnik, 14.-15.10.2020, Online-Tagung |
Erscheinungsort | Vienna |
Herausgeber (Verlag) | ARGESIM Publisher Vienna |
Seiten | 137-139 |
ISBN (elektronisch) | 978-3-901608-93-3 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2020 |
Peer-Review-Status | Ja |
Publikationsreihe
Reihe | ARGESIM Report |
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Band | 59 |
Externe IDs
ORCID | /0000-0002-1012-8337/work/153653888 |
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ORCID | /0000-0002-1484-7187/work/153654448 |