Vibration analysis of micro mirrors for LIDAR using on-chip piezo-resistive sensor

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Beitragende

  • Jan Grahmann - , Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Autor:in)
  • Richard Schroedter - , Technische Universitat Wien (Autor:in)
  • Oliver Kiethe - , FDTech GmbH (Autor:in)
  • Ulrich Todt - , Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
FachzeitschriftProceedings of SPIE
Jahrgang11293
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2020
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 85084182147
ORCID /0000-0003-3259-4571/work/142249654

Schlagworte

Schlagwörter

  • MEMS-Scanner, LIDAR, vibration, electrostatic, reliability, trajectory precision, quasi-static