Variants of Ferroelectric Hafnium Oxide based Nonvolatile Memories

Publikation: Beitrag zu KonferenzenPaperBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik, Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • H. Mulaosmanovic - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • M. Hoffmann - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • B. Max - , Professur für Nanoelektronik, Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • T. Mittmann - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • Uwe Schroeder - , Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • Stefan Slesazeck - , Technische Universität Dresden (Autor:in)

Abstract

Ferroelectricity is very attractive for nonvolatile memories since it allows non-volatility paired with a field driven switching mechanism enabling a very low-power write operation. Non-volatile memories based on ferroelectric lead-zirconium-titanate (PZT) (see fig. la) are available on the market for more than a quarter of a century now [1]. Yet they are limited to niche applications due to the compatibility issues of the ferroelectric material with CMOS processes and the associated limited scalability [2]. The discovery of ferroelectricity in doped hafnium oxide has revived the activities towards a variety of scalable ferroelectric nonvolatile memory devices [3].

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten207-208
Seitenumfang2
PublikationsstatusVeröffentlicht - Juni 2019
Peer-Review-StatusJa

Konferenz

Titel2019 Device Research Conference
KurztitelDRC 2019
Dauer23 - 26 Juni 2019
BekanntheitsgradInternationale Veranstaltung
OrtUniversity of Michigan, Ann Arbor
StadtAnn Arbor
LandUSA/Vereinigte Staaten

Externe IDs

ORCID /0000-0003-3814-0378/work/142256218

Schlagworte

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