The Correct Level of Model Complexity in Semiconductor Fab Simulation—Lessons Learned from Practice

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Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten133-139
Seitenumfang7
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 84979645596
ORCID /0000-0002-1484-7187/work/142243066

Schlagworte

Schlagwörter

  • Automated Material Handling System, Level of Detail, Discrete Event Simulation, Accuracy