Temperature dependence of strain-phonon coefficient in epitaxial Ge/Si(001): A comprehensive analysis

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • C. L. Manganelli - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • M. Virgilio - , University of Pisa (Autor:in)
  • O. Skibitzki - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • M. Salvalaglio - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Technische Universität Dresden (Autor:in)
  • D. Spirito - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • P. Zaumseil - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • Y. Yamamoto - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • M. Montanari - , Roma Tre University (Autor:in)
  • W. M. Klesse - , IPH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • G. Capellini - , Roma Tre University (Autor:in)

Abstract

We investigate the temperature dependence of the Ge Raman mode strain-phonon coefficient in Ge/Si heteroepitaxial layers. By analyzing the temperature-dependent evolution of both the Raman Ge& x2500;Ge line and of the Ge lattice strain, we obtain a linear dependence of the strain-phonon coefficient as a function of temperature. Our findings provide an efficient method for capturing the temperature-dependent strain relaxation mechanism in heteroepitaxial systems. Furthermore, we show that the rather large variability reported in the literature for the strain-phonon coefficient values might be due to the local heating of the sample due to the excitation laser used in mu-Raman experiments.

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)989-996
Seitenumfang8
FachzeitschriftJournal of Raman spectroscopy
Jahrgang51
Ausgabenummer6
PublikationsstatusVeröffentlicht - Juni 2020
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

Scopus 85080031546
ORCID /0000-0002-4217-0951/work/142237403

Schlagworte

Schlagwörter

  • Germanium, temperature-dependent, strain, phonon coefficient, epitaxial layers, HR-XRD, RAMAN FREQUENCIES, GE, SI, CRYSTALS, DIAMOND, SILICON, SCATTERING, MOBILITY, SHIFT