Si amorphization by focused ion beam milling: Point defect model with dynamic BCA simulation and experimental validation

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)52-56
Seitenumfang5
FachzeitschriftUltramicroscopy
Jahrgang184
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018
Peer-Review-StatusJa

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