Shock and Vibration Tests for Automatic Thin Wafer Transportation

Publikation: Beitrag zu Konferenzen › Paper › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
Peer-Review-StatusJa

Schlagworte

Schlagwörter

  • Transportsystem, Dünnwafer, Shaker, wafer transportation, vibration